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「新しい半導体製造プロセスと材料 エレクトロニクス材料・技術シリーズ(東北大学教授 大見忠弘著 シーエムシー)
ていう本予約してきて。274Pしかないからすぐ読み終わるよ。面白いからマジオススメ。